更正公告

一、項目基本情況

原公告的采購項目編號 ：SDGP********************1

原公告的采購項目名稱：空天信息大學(xué)(籌)光刻及表征設(shè)備采購項目（****6）

首次公告日期：****年**月**日

二、更正信息

更正事項： 采購文件

更正內(nèi)容：

1包項目需求和技術(shù)方案-貨物明細:4；8英寸光刻機，原內(nèi)容：1.光刻分辨率： ≤ 0.8 ?m（真空接觸、光刻膠厚度≤ 1 ?m時、等間距圖形Line/Space=1:1，**0mm范圍內(nèi)5點）； ≤3.0 ?m（**?m間隙，光刻膠厚度≤ 1 ?m時，等間距圖形Line/Space=1:1,**0mm范圍內(nèi)5點）；->變更為：1.光刻分辨率： ≤ 1 ?m（真空接觸、光刻膠厚度≤ 1 ?m 時、等間距圖形 Line/Space=1:1，**0mm 范圍內(nèi) 5 點）； ≤3.0 ?m（**?m 間隙，光刻膠厚度≤ 1 ?m 時，等間距圖形Line/Space=1:1,**0mm 范圍內(nèi) 5 點）；。

1包項目需求和技術(shù)方案-貨物明細:4；8英寸光刻機，原內(nèi)容：6.曝光燈：LED曝光燈，可通過軟件連續(xù)調(diào)節(jié)和設(shè)定光強，使用壽命＞****小時，無需氣體冷卻，曝光光強：≥ **mW/cm^2 @**5nm；≥ **0mW/cm^2 @UV全波段，光強均勻度：≤ ±2.5％@8英寸；->變更為：6.曝光燈：LED 曝光燈，可通過軟件連續(xù)調(diào)節(jié)和設(shè)定光強，使用壽命＞**** 小時，無需氣體冷卻，曝光光強：≥ **mw/cm^2 @**5nm；≥ **mw/cm^2 @UV全波段,光強均勻度：≤ ±2.5％@8 英寸；。

更正日期：****年**月**日

三、其他補充事宜

無

四、凡對本次公告內(nèi)容提出詢問，請按以下方式聯(lián)系。

1.采購人信息

名 稱：空天信息大學(xué)(籌)

地 址：山東省濟南市章丘區(qū)大學(xué)路2號

聯(lián)系方式：****-********

2 . 采購代理機構(gòu)信息

名 稱：山東三木招標有限公司

地 址：山東省濟南市市中區(qū)二環(huán)南路****號8樓**5室

聯(lián)系方式：****-********

3.項目聯(lián)系方式

項目聯(lián)系人：張兆冉

電 話：****-********