沈陽師范大學多功能場發(fā)射掃描電鏡采購項目招標項目的潛在供應商應在線上獲取招標文件,并于****年**月**日 **時**分（北京時間）前遞交投標文件。
**1-1 多功能場發(fā)射掃描電鏡（數量：1套、國產）；
一、多功能場發(fā)射掃描電鏡及其配套設備詳細參數
1.電子光學系統(tǒng)
★1.1高電壓二次電子成像分辨率：≤0.5 nm @** kV；
★1.2低電壓二次電子成像分辨率：≤0.8 nm @**0 V；
★1.3大工作距離成像分辨率：工作距離為** mm時，1 kV分辨率≤1.0 nm；
1.4著陸電壓：最小著陸能量≤** V，最大≥** kV
▲1.5電子槍：肖特基場發(fā)射電子槍，電子槍自動啟動，自動烘烤。
▲1.6電子束流范圍：最小束流≤1.0 pA，最大束流≥** nA，且連續(xù)可調。
▲1.7具備搖擺電子束模式，用于選定區(qū)域的電子通道尋找。
▲1.8光闌：自加熱式光闌，確保清潔和無接觸式光闌更換。
1.9對中：具備智能調整，無需用戶手動對中。
▲1.**配備電子束減速模式：樣品臺偏壓范圍不小于-**** V至+**0 V。
1.**復合末級透鏡：靜電、無磁場和浸沒式結合而成的物鏡，可切換三種不同模式，可測試磁性樣品。
2．樣品室和樣品臺
2.1 樣品室：樣品室左右內徑≥**0 mm，分析工作距離可實現≥9 mm，≥**個探測器/附件接口；
▲2.2樣品臺：五軸馬達驅動，最大移動范圍：X ≥ **8 mm，Y≥**8 mm，Z ≥ ** mm，T ≥ -**°~+**°，R = **0°連續(xù)旋轉；
2.3 樣品臺最大承重：≥5.0 kg；
▲2.4配備多功能樣品座，可同時放置≥**個標準樣品，還能夠滿足預傾斜樣品、截面樣品、STEM樣品等樣品的檢測需求，安裝樣品不需要工具。
3.探測器(包含5個獨立探測器及2款獨立相機)：
★3.1配備獨立透鏡內高敏感背散射電子探測器1個，提供**0V以下高清背散射電子圖像。
3.2配備獨立的鏡筒內中位二次電子探測器1個，可探測樣品表面形貌。
★3.3配備獨立的鏡筒內高位高分辨二次電子探測器1個，可探測樣品電位襯度。
▲3.4 配備樣品倉內二次電子探測器1個。
★3.5 配備樣品倉內背散射探測器，軟件控制伸縮，具備角度分割或環(huán)形分割模式，總分割數≥8個，可通過軟件切換分割模式；
★3.6 配備樣品室IR-CCD相機，用于觀察樣品室內位置情況；
★3.7宏觀導航相機（安裝在樣品倉內）1個，像素≥**0萬，視野范圍≥**0***5mm；具有自動采集圖像，數字變焦，圖像注釋和圖像保存功能。能夠呈現各樣品在樣品座的位置，結合軟件，可通過鼠標雙擊圖像興趣點，使興趣點自動移動到中心位置；
▲3.8探測器需具備拍攝高襯度背散射像能力，提供聚合物小球上四氧化三鐵磁性顆粒SEM像片作為證明材料。
4.真空系統(tǒng)
▲4.1完全無油真空系統(tǒng)；
4.2 分子泵≥1個，無油機械泵≥1個，離子泵≥2個；
4.3 機械泵具備靜音模式，可以在真空度達到要求后停止機械泵工作，提升機械泵使用壽命。
4.4 關閉樣品艙門后抽真空時間小于3.5分鐘即可開始掃描樣品。
5.數字圖像處理系統(tǒng)
▲5.1圖像存儲分辨率：不低于**k×**k像素（非疊加下），需提供操作界面截圖。
5.2單視圖和四視圖圖像可切換顯示。
★5.3一鍵實現光路自動合軸、自動消像散及自動聚焦。
5.4具備智能掃描模式（**6幀平均或積分, 線積分或平均, 隔行掃描）和DCFI (漂移補償幀積分)模式。
▲5.5能夠提供耐熱鋼純粹的相襯度像（電位襯度）SEM像片，可區(qū)分于通道襯度。
6.應用軟件
▲6.1 配置自動圖像拍照和拼接軟件，可實現不小于**個區(qū)域****張圖像的自動拍照和圖像拼接，可實時對已選定視場進行回溯。提供4 x ** mm奧氏體鋼拋光后的無縫拼接背散射電子圖像。
▲6.2 應具備取消/重做功能，可返回任意一步操作。
6.3 應具有樣品臺圖像導航功能。
6.4 應具有雙擊鼠標移動樣品功能。
6.5 應具有鼠標拖曳式放大及對中功能。
6.6 應具有基礎操作/應用的向導。
▲6.7 四活動窗口顯示，可同時顯示≥4幅不同探測器圖像。
7.附屬配件
▲7.1多功能控制面板1套，可控制焦距、放大倍率、對比度、亮度等參數。
8.配置能譜儀一套，用于材料微區(qū)成分分析；
★8.1探頭類型：硅漂移探頭（電制冷），能譜儀有效窗口面積不小于** mm 2 ；軟件控制探頭伸縮；具備漂移矯正、實時定量面分布圖、實時譜峰剝離面分布圖、相分布圖功能。
8.2 能量分辨率：優(yōu)于**9 eV@Mn Kα；
8.3 分析元素范圍：Be（4）～Am（**）號元素
▲8.4 EDS操作完全集成在電鏡用戶界面中（提供軟件截屏），由一套軟件控制；成像及能譜緊密集成以實時譜采集和處理，可以快速獲取數據；
▲8.5 能譜與電鏡的售后服務均由電鏡廠家工程師負責，提供電鏡廠家對能譜及電鏡售后服務的承諾函。
8.6具備背底扣除功能。
8.7具備自動譜峰識別功能
8.8譜圖自動校準功能，能自動去除和峰、逃逸峰；
▲8.9 軟件配備漂移校準功能，用于校準因樣品導電不佳或長時間面掃描導致的圖像漂移
▲8.**能譜儀探頭具有遠工作距離、標準工作距離和超近工作距離三個元素信息采集位置。
8.**可以進行大面積面分布采集和拼接。
9.配件：配備空壓機和冷卻循環(huán)水系統(tǒng)各1套；配備UPS不間斷電源1套；
★9.1備用電子槍：至到貨之日起免費提供可保障電鏡正常使用**年所需的電子槍(或提供2根備用電子槍)、光闌耗材（非人為原因損壞或自然災害導致的損壞）并免除由此產生的更換燈絲、光闌的人工費。
二、電鏡配套顯微共聚焦拉曼光譜成像系統(tǒng)詳細參數
2.1光譜儀
★2.1.1光譜儀設計：為保證儀器的高通光效率和高靈敏度，采用自動聚焦透射式共軸設計單級光譜儀，無色差，無像差。光譜儀焦距：≤**0mm。
2.1.2為避免激光器發(fā)熱，影響儀器光路系統(tǒng)穩(wěn)定性，激光器不得內置于儀器當中。
2.1.3為確保儀器重心穩(wěn)定性、避免顯微鏡白光光源加熱光譜儀和光譜儀研究級品質，光譜儀不可放置在顯微鏡的上部。
2.1.4系統(tǒng)總通光效率大于**%。
▲2.1.5高靈敏度：硅三階峰（在**** cm -1 ）的信噪比≥**:1，并能觀察到四階峰。檢測條件：使用單晶硅片，波長**2 nm，激光到達樣品功率**mW，狹縫寬度（或針孔）≤**微米，需使用≥****線高分辨光柵，曝光時間**0秒，累加次數3次（或曝光時間**秒，累加次數5次），binning等于1，顯微鏡頭為x**0倍。
2.1.6光譜范圍：**0nm 到****nm，全光譜范圍內可快速連續(xù)掃描，無接譜。其中：
**2nm激發(fā)波長，光譜范圍：**-**** cm -1
**5nm激發(fā)波長，光譜范圍：**-**** cm -1
后期可根據實驗要求升級激發(fā)波長范圍值5-****0 cm -1 .
2.1.7不同波長瑞利濾光片需自動切換，采用三點精確定位技術，轉臺采用光柵尺反饋控制系統(tǒng)，確保精度和重復性。
★2.1.8標準光譜分辨率：0.8 cm -1 。檢驗標準：使用氖燈作為信號源，≥****刻線/毫米光柵，測試**5nm發(fā)光線，其半高全寬小于等于1波數（FWHM≤1 cm -1 ）。
2.1.9配置高分辨率光柵，軟件控制自動轉換。并能實現光柵連續(xù)轉動的全譜掃描方式，保證高分辨率下的無接譜，采用背靠背雙光柵轉臺避免儀器校準誤差，光柵控制采用光柵尺反饋控制系統(tǒng)控制光柵的精確定位和重復性。
★2.1.**光柵使用****（NIR）、****（Vis）刻線/毫米高分辨率光柵，并能軟件控制自動轉換。并能實現光柵連續(xù)轉動的全譜掃描方式，保證高分辨率下的無接譜。光柵需采用雙光柵背靠背轉臺，避免多塔輪光柵轉臺造成的旋轉偏差。
▲2.1.**光譜重復性：≤ ±0.** cm -1 。檢驗標準：使用表面拋光的單晶硅做樣品，采用**0×物鏡，≥****刻線/毫米光柵，重復**次。觀測硅拉曼峰（**0 cm -1 ），**0峰中心位置重復性≤±0.** cm -1 。
2.1.**切換不同的激發(fā)波長可自動聚焦透鏡組，保證每個透鏡**%以上的拉曼信號透過率。
2.1.** CCD探測器：應使用紫外和近紅外同時增強型CCD探測器，像素≥*******6，響應范圍**0nm-****nm，半導體制冷到-**℃，且無需等待恢復到室溫，可直接關機，為確保成像速度，最短積分時間0.**1秒。
★2.1.**濾光片轉臺、光柵轉臺等齒輪傳動部件，具備光柵尺反饋補償系統(tǒng)，以避免因齒輪長期轉動磨損而影響定位精度。直線光柵尺SDE＜** nm；圓光柵尺SDE＜0.2 arc second。
2.2激光器
2.2.1 **2nm激發(fā)波長，外置激光器功率≥**0 mW，隨機一套。
2.2.2 **5nm激發(fā)波長，外置激光器功率≥**0mW，隨機一套。
2.2.3儀器可升級到6種不同激發(fā)波長以上，包含深紫外波長（**5nm，**4nm，**6nm， **3nm，**8nm等）、紅外波長（****nm等）等更多激發(fā)波長。
2.2.4各波長均使用兩片瑞利濾光片和一片用于去除等離子線的干涉濾光片，儀器阻擋激光瑞利散射水平好于** ** 。
▲2.2.5不同激發(fā)波長采用獨立的，按波長獨立優(yōu)化的自由空間激光入射光路，非采用光纖耦合，以保證每個波長均有最優(yōu)的通光效率，避免互相影響。切換波長時，激光光路采用計算機控制全自動切換。
★2.2.6各個波長均配有激光擴束器，使激光光斑尺寸在焦平面上連續(xù)可調，**倍標準物鏡下，光斑尺寸可在1μm-**μm連續(xù)變化，并能連續(xù)改變到樣品上的激光功率密度，以方便信號弱且怕燒樣品的檢測。
2.2.7計算機控制激光多級衰減片，以方便針對不同樣品調整激光功率。
2.3智能控制功能
2.3.1切換波長時，采用計算機控制全自動切換激光器、濾光片、光柵等光學元件。
2.3.2內置標準樣品：自動準直激光到樣品的激發(fā)光路、樣品至探測器的拉曼信號傳遞光路。
2.3.3自動定期儀器狀態(tài)校準、并自動調節(jié)準直光路，保證儀器最佳性能狀態(tài)；可以遠程診斷主機工作狀態(tài)。
2.3.4自動拉曼信號強度校正功能：內置標準白光光源，軟件自動校準拉曼光強度，消除不同波長信號的響應差異。
2.3.5自動波長校準功能：內置標準氖燈光源，自動實現全光譜自動校準，保證光譜峰位準確度。
2.3.6拉曼信號采集模式與白光照明模式自動切換。
2.4共焦技術
▲2.4.1為保證系統(tǒng)靈敏度，需采用新型數字化針孔真共焦顯微技術（數字化控制狹縫和CCD區(qū)域，需提供相關證明材料），以避免傳統(tǒng)機械針孔式共焦帶來儀器的不穩(wěn)定性和復雜的光路調整。
2.4.2軟件控制自動調整狹縫大小，在**-****um范圍內連續(xù)可調。
2.4.3空間分辨率：在x**0倍鏡頭下，使用**2nm激發(fā)波長測試單晶硅片，橫向分辨率≤0.**微米，光軸方向縱向分辨率≤1微米，共焦深度連續(xù)可調。
2.5共焦顯微鏡
★2.5.1高穩(wěn)定性研究級顯微鏡，需配置**X原裝目鏡。顯微放大倍數：＞****倍。
2.5.2物鏡：5X、**X、長焦**X、**0X物鏡、**X水鏡各一套。
2.5.3顯微鏡廠家原裝透射和反射柯勒照明。
2.5.4隨機配置≥****萬像素攝像頭，可安全觀察激光光斑，可在計算機上顯示存儲圖像。
2.5.5通過調節(jié)樣品臺高低聚焦樣品，不調節(jié)物鏡，保證穩(wěn)定性。
2.6數據庫（1套）
2.6.1具有譜庫檢索和建庫功能，并提供無機物、有機物高分子數據庫。
2.7全套軟件包
2.7.1 Windows下光譜專業(yè)軟件包：包括儀器控制、數據采集、數據處理分析等各項功能。
儀器控制：可完成自動光路調節(jié)及校準。
2.7.2數據采集：包括單張光譜采集、各種模式的拉曼成像數據采集、時間序列及長時間自動排隊程序測試。
2.7.3數據處理分析：包括單張光譜分析；多張數據的整合及批量處理；成像數據分析。
2.8拉曼成像功能模塊
2.8.1配置帶光柵尺反饋控制系統(tǒng)的XYZ三維高精度自動樣品臺
▲2.8.1.1 XYZ自動平臺，掃描范圍：X≥**2 毫米 ，Y≥** 毫米，Z≥**毫米。
2.8.1.2最小步長為≤**納米。
2.8.1.3帶手動操作鼠標球，可軟件自動控制驅動。
2.8.1.4可對樣品測量部位自動定位并進行拉曼成像，進行分散的多點、線、面掃描和共焦深度的掃描成像。
2.8.1.5采用光柵尺反饋控制系統(tǒng)自動控制克服反向間隙，保證原始點的重復性，手動及自動移動樣品臺均可記錄位置。
2.8.1.6用軟件可連接攝像頭采集圖像，擴展了顯微鏡的視場，也可使自動平臺的掃描區(qū)域擴大。
2.8.1.7包括Z軸自動聚焦硬件及軟件。
2.8.2激光實時聚焦系統(tǒng)（1套）
2.8.2.1非采用白光預掃描模式，具備精確的激光實時聚焦功能，包括樣品觀察模式，單點拉曼測試模式及快速拉曼掃描成像模式。面掃描拉曼成像時每點均需實時自動聚焦，對于高度動態(tài)變化的樣品，可實現激光實時動態(tài)聚焦及拉曼實時原位測試。
2.8.2.2不同激發(fā)波長均采用測試拉曼的本源激光做實時測距反饋，無色差。
2.8.2.3通過專用激光束分光系統(tǒng)，配合自動平臺實時完成超快自動聚焦，自動聚焦響應速度≤1ms，且自動聚焦系統(tǒng)與拉曼測試相互獨立，平行運行，無需預先定位。
2.8.2.4測試拉曼傳遞樣品化學結構信息的同時得到樣品的形貌信息，可實時記錄樣品的不平整、彎曲及粗糙程度。
2.8.2.5實時自動聚焦范圍只受自動載物平臺行程限制，X≥**2 毫米，Y≥**毫米，Z≥**毫米。
2.8.3坐標管理軟件（1套）
2.8.3.1坐標管理工具，可在不同的顯微鏡系統(tǒng)（例如掃描電子顯微鏡（SEM）和Raman顯微鏡）之間導入和轉換坐標
2.8.3.2圖像對齊工具，用于對齊和疊加來自多個顯微鏡系統(tǒng)的圖像
2.8.3.3批量測量可在多個位置自動執(zhí)行相同的拉曼測量
2.8.3.4通過圖像對齊和旋轉進行覆蓋圖像的縱橫調整。
★2.8.4大樣品測試模塊（1套）
2.8.4.1提供延長管，激光可經過延長管引出經左端鏡頭聚焦在樣品上。
2.8.4.2不占用常規(guī)拉曼測試所需的樣品臺，僅占用一個物鏡旋口。
2.9配置清單
2.9.1拉曼光譜儀主機 1套
2.9.2 **2nm激光器及對應光路 1套
2.9.3 **5nm激光器及對應光路 1套
2.9.4高精度自動樣品臺 1套
2.9.5實時激光共焦系統(tǒng)（**2nm和**5nm）各1套
2.9.6坐標管理軟件 1套
2.9.7大樣品測試附件 1套
2.9.8數據工作站 1套
2.9.9 **倍（NA1.2, WD0.**mm）水鏡 1套
2.9.** ≥****萬像素攝像頭 1套
2.9.** 偏光附件 1套
